镀膜与沉积工艺腔的活，一半在腔体本身，一半在靶位、气路、馈通与清洁度。我们做腔体与这些接口的配合，焊接在受控洁净焊接环境里完成，颗粒与清洁度要求按项目约定，不套用通用等级。
怎么造
方形或圆形工艺腔按图成形，门、观察窗、靶位、电极馈通与气路接口按图开孔与焊接；内表面按工艺要求做处理（抛光、电解或喷砂按图）。焊接在受控洁净焊接环境内完成，焊后清理与工序间保护按约定执行。
接口与配合
靶位间距、馈通位置与气路走向在评审阶段确认，因为这些尺寸要和电源、气柜、基片架对齐。盲板法兰、观察窗与传感器的接口形式按图，未标注的在评审时确认。
怎么验收
逐台氦质谱检漏；内表面清洁度按约定的方法检查（白布擦拭、目视或按你方标准），颗粒要求写进项目约定而不是页面上的通用等级。包装前做封口保护，避免运输过程污染内表面。
技术要点
下表只写能确认的范围；尺寸、公差、板厚与法兰标准以图纸评审为准。
| 材料 | 304 / 304L / 316L 不锈钢，按图 |
|---|---|
| 结构 | 方形或圆形工艺腔；门、观察窗、靶位、馈通与气路接口按图 |
| 表面 | 内表面抛光、电解或喷砂按工艺要求（图纸注明） |
| 焊接 | 受控洁净焊接环境内完成，工序间保护按约定 |
| 检验 | 逐台氦质谱检漏；清洁度按约定方法检查，颗粒要求按项目约定 |
| 包装 | 封口保护后装箱，避免运输污染内表面 |
询价时常问的
洁净度等级能保证吗？
不套用通用等级。你给方法（例如白布擦拭后的目视判定、颗粒计数或你方企业标准），我们按该方法检验并在合同里写明；没有方法的，评审时一起定。
靶位和馈通位置还能改吗？
评审阶段可以改，改完进图纸；开孔焊接之后改动代价很大，所以这类尺寸我们坚持在评审时冻结。
内表面处理能做到什么程度？
按图纸要求做抛光、电解或喷砂，粗糙度以图纸标注为准；需要更细的，先试样确认再批量。