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清洁与颗粒控制

镀膜腔体洗得再干净，为什么还是抽不下去

真空上不去，九成不是漏，是出气。表面有两处在放气：水和藏在损伤层里的氢。前者靠烘烤和抽气时间，后者靠清洗工艺，两者不能互相替代。